logo

Kasus Proyek Tabung Kuarsa Bergelang Kemurnian Tinggi Kustom | Tabung Silika Menyatu Dengan Flange Terintegrasi untuk Reaktor Vakum Tungku Tabung CVD Semikonduktor-sara

Diterbitkan pada: June 22, 2026

Kasus Proyek: Custom High-Purity Flanged Quartz Glass Tube

Ringkasan Kasus

Kasus ini mencakup produksi batch pipa kuarsa yang disesuaikan untuk produsen peralatan semikonduktor luar negeri.tabung silika cair tahan suhu tinggi dengan flange kuarsa terintegrasi untuk ruang reaksi CVD dan tungku pengeringan suhu tinggiKami menyediakan kustomisasi lengkap termasuk ukuran tabung, tata letak lubang bolt flange, ketebalan dinding dan pemanasan tekanan suhu tinggi,menyelesaikan masalah lama mereka dari kebocoran pipa, polusi kotoran tinggi dan sering retak tabung selama siklus termal.

Titik Kesakitan Pelanggan Sebelum Kerjasama

  1. Pipa kaca borosilikat asli yang mengalami deformasi pada suhu kerja di atas 900 °C, menyebabkan kebocoran sendi flange dan lingkungan vakum yang tidak stabil.
  2. Tabung kuarsa las biasa tanpa pengelasan mudah retak setelah berulang siklus dingin & panas, biaya penggantian yang tinggi dan kehilangan waktu henti produksi.
  3. Toleransi dimensi yang tidak terkendali dari flanges, cocok buruk dengan client's logam sealing fixtures, hasil pengolahan rendah.
  4. Bahan baku kuarsa kemurnian rendah membawa kontaminasi ion logam, mempengaruhi presisi pengolahan wafer.

Solusi Tabung Flange Kuarsa Khusus Kami

  1. Pemilihan bahan: Mengadopsi 99,99% sintetis tinggi kemurnian cair silika dengan kandungan hidroksil rendah, tidak ada kotoran logam, kompatibel dengan proses ultra-bersih semikonduktor.
  2. Flang Pengelasan Panas Terintegrasi: Flang kuarsa yang terintegrasi pada ujung tunggal / kedua tubuh tabung, jahitan las kekuatan tinggi, sepenuhnya dipanaskan untuk menghilangkan ketegangan internal, menahan kejut termal.
  3. Precision CNC Machining: Diameter luar khusus, ketebalan dinding, panjang tabung, diameter luar flange, posisi lubang baut & aperture dengan toleransi ketat ± 0.02mm.
  4. Perawatan permukaan: Tembok tabung dalam dan luar yang dipoles api, halus tanpa gelembung, goresan atau retakan mikro, transmisi sinar UV dan cahaya tampak yang sangat baik.
  5. Kustomisasi struktural: Dukungan single flange, double flanges, tertutup bawah kubah, dinding tebal struktur tahan tekanan tinggi sesuai dengan kebutuhan gambar pelanggan.

Pengiriman & Efek Operasi Nyata

Kami menyelesaikan konfirmasi sampel, pesanan uji coba dan produksi massal dalam waktu 12 hari kerja, menyelesaikan inspeksi dimensi penuh, tes penuaan suhu tinggi dan tes kekakuan vakum sebelum pengiriman.
 
Setelah pemasangan pelanggan dan operasi berkelanjutan jangka panjang:
  • Tidak ada kebocoran di bawah vakum tinggi & suhu kerja terus menerus 1150°C;
  • Tidak ada retakan setelah 100 + tes siklus termal, umur layanan meningkat lebih dari 3 kali;
  • Tidak ada hujan kotoran, hasil produk wafer meningkat sebesar 16%;
  • Ukuran flange standar sangat cocok dengan bagian-bagian penjepit dan penyegelan klien yang ada, sangat mengurangi waktu perakitan peralatan.