Pembawa Wafer Kuarsa Kemurnian Tinggi Menjadi Bahan Habis Pakai Inti untuk Tungku Vakum-Amy
2026/07/10
Pembawa wafer kuarsa dengan kemurnian tinggi (perahu kuarsa) adalah perlengkapan penting di dalam tungku vakum semikonduktor untuk proses anil, LPCVD, oksidasi dan difusi.
Terbuat dari 99,995% silika leburan, produk ini memiliki tingkat pengotor logam yang sangat rendah untuk menghindari kontaminasi wafer dalam kondisi vakum tinggi. Dengan ekspansi termal yang sangat rendah dan anil pelepas tegangan penuh, dimensi pembawa tetap stabil di bawah siklus termal 1000–1200℃ yang berulang, sehingga tahan terhadap guncangan termal dan deformasi.
Secara kimia inert terhadap fluor, asam dan gas pembawa, permukaan halus yang dipoles mengurangi pelepasan partikel dan goresan serpihan. Grooving yang presisi menjaga jarak wafer secara merata untuk aliran panas dan gas yang seragam, menstabilkan ketebalan film dan kinerja listrik.
Ukuran khusus untuk wafer 4/6/8/12 inci tersedia untuk disesuaikan dengan tungku tabung vakum horizontal & vertikal. Pengangkut kuarsa dalam negeri menyamai kualitas impor dengan waktu tunggu yang lebih pendek dan biaya yang lebih rendah, sehingga mendukung produksi massal chip, sel surya, dan bahan optoelektronik.
